無塵室凈化工程由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。
FFU集成電路設計優(yōu)點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)剛好可以**化滿足這些要求。
潔凈室按照回風特點分為三個系統(tǒng)：
1.FFU循環(huán)系統(tǒng);
2.循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng);
3.循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和。
FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型
1.*適合半導體制造業(yè)的FFU循環(huán)系統(tǒng)
FFU循環(huán)系統(tǒng)①不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求。
2.*適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)
在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)
這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。
FFU集成電路設計優(yōu)點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)剛好可以**化滿足這些要求。
潔凈室按照回風特點分為三個系統(tǒng)：
1.FFU循環(huán)系統(tǒng);
2.循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng);
3.循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和。
FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型
1.*適合半導體制造業(yè)的FFU循環(huán)系統(tǒng)
FFU循環(huán)系統(tǒng)①不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求。
2.*適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)
在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)
這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。
