為了使碳化硅生產(chǎn)符合生產(chǎn)流程且潔凈度達(dá)標(biāo)，碳化硅無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)工作就至關(guān)重要，需要合理布局與規(guī)劃。所有裝修工作需依據(jù)工藝設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行，才能保證工藝可行性。

一、碳化硅無(wú)塵車(chē)間墻體隔斷裝修注意事項(xiàng)

碳化硅無(wú)塵車(chē)間裝修墻面應(yīng)光滑、平整抗塵，耐腐蝕，色彩協(xié)調(diào)，并且具備抗腐蝕、耐磨損的特征。墻面與地面相交處要防止縫隙，以減少灰塵積聚和便于清潔，便于清潔。物流通道等易撞處墻邊宜設(shè)置防撞護(hù)欄，防止因裝修材料震動(dòng)而脫落灰塵。

二、碳化硅無(wú)塵車(chē)間門(mén)窗裝修注意事項(xiàng)

碳化硅無(wú)車(chē)車(chē)間裝修時(shí)，不同潔凈等級(jí)的房間之間的門(mén)窗縫隙要做密封處理。門(mén)窗材料應(yīng)選擇耐熱性好，自然變形小，氣密性好的，造型要簡(jiǎn)單大方，不積塵，便于清掃。潔凈廠房的門(mén)窗宜用金屬或金屬涂塑材料，不得使用木門(mén)窗，以免長(zhǎng)期受潮長(zhǎng)菌。外墻上的窗宜與內(nèi)墻面平整，窗臺(tái)呈斜角或不留窗臺(tái)，且為雙層固定窗以減少能量損失。

三、碳化硅無(wú)塵車(chē)間通道裝修注意事項(xiàng)

裝修無(wú)車(chē)車(chē)間在建筑布局上一般在廠房外設(shè)置一環(huán)形密封通道。它使?jié)崈魠^(qū)與外界有了一個(gè)緩沖區(qū)域。能夠防止外界污染同時(shí)也相對(duì)節(jié)能。廠房?jī)?nèi)門(mén)窗宜與內(nèi)墻面平整，不設(shè)置窗臺(tái)。外窗的層數(shù)設(shè)置和結(jié)構(gòu)形式要充分考慮對(duì)空氣水分的密封，使污染粒子不易從外部滲入。

四、碳化硅無(wú)塵車(chē)間吊頂裝修注意事項(xiàng)

碳化硅無(wú)塵車(chē)間裝修吊頂與墻面要連接平整光滑。吊頂與送回風(fēng)管間要確保封閉。吊頂安裝完成后要進(jìn)行燈檢，保證無(wú)縫隙。一般情況下，技術(shù)夾層內(nèi)應(yīng)當(dāng)設(shè)置檢修走道，便于管道的檢修和過(guò)濾器的定期更換。為了保證碳化硅無(wú)塵車(chē)間室內(nèi)清潔，所有送風(fēng)管，燈具必須布置在技術(shù)夾層里。頂部多采用烤漆方通支撐，重量輕，整體強(qiáng)度大，整體性好，保溫隔熱發(fā)塵小等特點(diǎn)，比較適用于無(wú)塵車(chē)間。

五、碳化硅無(wú)塵車(chē)間地面裝修注意事項(xiàng)

碳化硅無(wú)塵車(chē)間裝修具有防靜電，發(fā)塵小，耐磨耐沖擊等特點(diǎn)但是造價(jià)高。目前大多采用pvc地板或環(huán)氧自流坪地板。PVC地板是通過(guò)聚氯乙烯材料制作加工出來(lái)的地板，具有綠色環(huán)保、超輕超薄、防水防火等多種特征，且安裝操作快捷簡(jiǎn)單。而自流坪地板有很強(qiáng)的自動(dòng)找平功能，可以自行修補(bǔ)地板間的高低差，使所有地板露出面位都保持在同一水平線上，同時(shí)這類(lèi)地板還具有耐摩擦的特性。